GEI817 - Techniques de fabrication en salles blanches
Présentation
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Sommaire
- Cycle
- 2e cycle
- Crédits
- 3 crédits
- Faculté ou centre
- Faculté de génie
- Trimestres *
- Hiver 2027
Cible(s) de formation
Comprendre les notions de base des différentes techniques de microfabrication des composants microélectroniques. Réaliser en salles blanches plusieurs composantes microélectroniques élémentaires à base de silicium. Caractériser les composantes fabriquées et relier les performances obtenues aux procédés de microfabrication utilisés.
Contenu
Étude et analyse de différentes techniques de fabrication mises en œuvre dans un environnement de salles blanches pour la fabrication de composants microélectroniques et optoélectroniques : techniques de photolithographie, de dépôt de couches minces, de gravure et de caractérisation de composants microélectroniques.
Préalable(s)
Avoir obtenu 82.00 crédits* Sujet à changement