Acquérir les connaissances pratiques nécessaires à la fabrication des circuits LSI à base de silicium.
Contenu
Réalisation en laboratoire des principales étapes menant à la fabrication de circuits intégrés : photolithographie, oxydation, gravure, croissance de couches minces, métallisation, diffusion et implantation ionique. Fabrication d'un circuit intégré VLSI en technologie CMOS et caractérisation de ce dispositif.
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