Lithographie et écriture directe
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- Aligneuse de masques à contact 3 po Optical Associates Inc. - OAI 200
- Aligneuse de masques haute précision Süss MicroTec MJB4
- Appareil d'exposition DUV sans masque
- Bancs humides dédiés au développement
- Développeuse de résine automatique Polos ADC
- Étaleuse Brewer CEE-200X
- Étaleuse Solitec
- Photoplotter Heidelberg Instruments - DWL66fs
- Prime Oven YES LP III
- Spin coater
- Système d'électrolithographie Raith EBPG 5200
- Système d'électrolithographie Raith 150Two