Tarifs et accès
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Appareil de mesure de conductivité sans contact Semilab LEI88
Appareil de mesure d'impédance Solartron Schlumberger Si 1260
Caractérisation électrique des matériaux sans contact Freinberg Instruments GmbH MDPspot
Four sous atmosphère contrôlée Carbolite Gero HTCR6/28/Class
Microscope électronique à source Schottky ThermoFisher-Apreo2
Microscope optique de type métallurgique Nikon Eclipse ME600L
Photoluminescence de surface (PL Mapper) Phillips PD7600/00 PLM150
Système d'assemblage de substrats (waferBonder) Applied Mcroengineering Ltd-AWB-04
Système d'impédance électro-chimique (EIS) CH Instruments 640C
Système de dépôts de couches diélectriques très minces ALD Picosun R-200 Advanced
Système de nettoyage d'échantillons par plasma d'oxygène Tegal Corporation -Plasmaline 415
Système de nettoyage de surfaces à l'ozone - UV-Novascan PSD-UVT