Résines d’électrolithographie

ma-N 2401
Résolution : 50 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 100 nm
Type CD/Spacing : n/a

ma-N 2403
Résolution : 50 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 350 nm
Type CD/Spacing : n/a

ma-N 2405
Résolution : 50 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 500 nm
Type CD/Spacing : 200/400 1000/1000

ma-N 2410
Résolution : 50 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 1000 nm
Type CD/Spacing : 200/400 1000/1000

mr-EBL-6000.1
Résolution : 80 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 100 nm
Type CD/Spacing : n/a

mr-EBL-6000.3
Résolution : 80 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 300 nm
Type CD/Spacing : n/a

mr-EBL-6000.5
Résolution : 80 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 500 nm
Type CD/Spacing : n/a

AR-P 6200.04
Résolution : 6 nm
Ton résine : P
Épaisseur : 80 nm
Type CD/Spacing : n/a

AR-P 6200.09
Résolution : 6 nm
Ton résine : P
Épaisseur : 200 nm
Type CD/Spacing : 100/100 1000/1000

AR-P 6200.13
Résolution : 6 nm
Ton résine : P
Épaisseur : 400 nm
Type CD/Spacing : n/a

AR-P 6200.18
Résolution : 6 nm
Ton résine : P
Épaisseur : 800 nm
Type CD/Spacing : n/a

HSQ 1%
Résolution : < 10 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 40 nm
Type CD/Spacing : n/a

HSQ 2%
Résolution : < 10 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 50 nm
Type CD/Spacing : n/a

HSQ 3%
Résolution : < 10 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 60 nm
Type CD/Spacing : n/a

HSQ 6%
Résolution : < 10 nm
Ton résine : N
Épaisseur : 160 nm
Type CD/Spacing : n/a

QSR5
Résolution : n/a
Ton résine : N
Épaisseur : 20 à 500 nm
Type CD/Spacing : n/a