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Résines d’électrolithographie


ma-N 2401

Résolution : 50 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 100 nm

Type CD/Spacing : n/a


ma-N 2403

Résolution : 50 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 350 nm

Type CD/Spacing : n/a


ma-N 2405

Résolution : 50 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 500 nm

Type CD/Spacing : 200/400   1000/1000


ma-N 2410

Résolution : 50 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 1000 nm

Type CD/Spacing : 200/400   1000/1000


mr-EBL-6000.1

Résolution : 80 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 100 nm

Type CD/Spacing : n/a


mr-EBL-6000.3

Résolution : 80 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 300 nm

Type CD/Spacing : n/a


mr-EBL-6000.5

Résolution : 80 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 500 nm

Type CD/Spacing : n/a


AR-P 6200.04

Résolution : 6 nm

Ton résine :  P

Épaisseur : 80 nm

Type CD/Spacing : n/a


AR-P 6200.09

Résolution : 6 nm

Ton résine :  P

Épaisseur : 200 nm

Type CD/Spacing : 100/100              1000/1000


AR-P 6200.13

Résolution : 6 nm

Ton résine :  P

Épaisseur : 400 nm

Type CD/Spacing : n/a


AR-P 6200.18

Résolution : 6 nm

Ton résine :  P

Épaisseur : 800 nm

Type CD/Spacing : n/a


HSQ 1%

Résolution : < 10 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 40 nm

Type CD/Spacing : n/a


HSQ 2%

Résolution : < 10 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 50 nm

Type CD/Spacing : n/a


HSQ 3%

Résolution : < 10 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 60 nm

Type CD/Spacing : n/a


HSQ 6%

Résolution : < 10 nm

Ton résine :  N

Épaisseur : 160 nm

Type CD/Spacing : n/a


QSR5

Résolution : n/a

Ton résine :  N

Épaisseur : 20 à 500 nm

Type CD/Spacing : n/a