List of electrolithography resins
ma-N 2401
Resolution : 50 nm
Ton résine : N
Thickness : 100 nm
Type CD/Spacing : n/a
ma-N 2403
Resolution : 50 nm
Ton résine : N
Thickness : 350 nm
Type CD/Spacing : n/a
ma-N 2405
Resolution : 50 nm
Ton résine : N
Thickness : 500 nm
Type CD/Spacing : 200/400 1000/1000
ma-N 2410
Resolution : 50 nm
Ton résine : N
Thickness : 1000 nm
Type CD/Spacing : 200/400 1000/1000
mr-EBL-6000.1
Resolution : 80 nm
Ton résine : N
Thickness : 100 nm
Type CD/Spacing : n/a
mr-EBL-6000.3
Resolution : 80 nm
Ton résine : N
Thickness : 300 nm
Type CD/Spacing : n/a
mr-EBL-6000.5
Resolution : 80 nm
Ton résine : N
Thickness : 500 nm
Type CD/Spacing : n/a
AR-P 6200.04
Resolution : 6 nm
Ton résine : P
Thickness : 80 nm
Type CD/Spacing : n/a
AR-P 6200.09
Resolution : 6 nm
Ton résine : P
Thickness : 200 nm
Type CD/Spacing : 100/100 1000/1000
AR-P 6200.13
Resolution : 6 nm
Ton résine : P
Thickness : 400 nm
Type CD/Spacing : n/a
AR-P 6200.18
Resolution : 6 nm
Ton résine : P
Thickness : 800 nm
Type CD/Spacing : n/a
HSQ 1%
Resolution : < 10 nm
Ton résine : N
Thickness : 40 nm
Type CD/Spacing : n/a
HSQ 2%
Resolution : < 10 nm
Ton résine : N
Thickness : 50 nm
Type CD/Spacing : n/a
HSQ 3%
Resolution : < 10 nm
Ton résine : N
Thickness : 60 nm
Type CD/Spacing : n/a
HSQ 6%
Resolution : < 10 nm
Ton résine : N
Thickness : 160 nm
Type CD/Spacing : n/a
QSR5
Resolution : n/a
Ton résine : N
Thickness : 20 à 500 nm
Type CD/Spacing : n/a