Résines de photolithographie
![AZMiR701](/3it/fileadmin/_processed_/f/4/csm_AZMiR701_a7b8246497.png)
AZMiR701
Ton résine : Positive
Épaisseur : 0.5 um
Résolution : 0.5 um
![AZ1505](/3it/fileadmin/_processed_/8/2/csm_AZ1505-1512-1518_221480e576.png)
AZ1505
Ton résine : Positive
Épaisseur : 0.5 um
Résolution : 0.5 um
![AZ1512](/3it/fileadmin/_processed_/8/2/csm_AZ1505-1512-1518_221480e576.png)
AZ1512
Ton résine : Positive
Épaisseur : 1.2 um
Résolution : 0.7 um
![AZ1518](/3it/fileadmin/_processed_/8/2/csm_AZ1505-1512-1518_221480e576.png)
AZ1518
Ton résine : Positive
Épaisseur : 1.8 um
Résolution : 1.0 um
![AZ9245](/3it/fileadmin/_processed_/5/f/csm_AZ9245_a92f0e2f3e.png)
AZ9245
Ton résine : Positive à profils verticaux
Épaisseur : 3 ou 4.5 um
Résolution : 1 ou 1.5 um
![AZ4903](/3it/fileadmin/_processed_/f/f/csm_AZ4903_4e935da698.png)
AZ4903
Ton résine : Positive à profils verticaux
Épaisseur : 8 ou 13 um
Résolution : 3 ou 5 um
![AZ40XT](/3it/fileadmin/_processed_/9/4/csm_AZ40XT_a27aece2c1.png)
AZ40XT
Ton résine : Positive à profils verticaux
Épaisseur : 13 ou 20 um
Résolution : 5 ou 10 um
![LOR30B](/3it/fileadmin/_processed_/1/0/csm_LOR30B_341b9253ae.png)
LOR30B
Ton résine : Polymère pour bi‐couche lift‐off
Épaisseur : 2.4 - 6 um
Résolution : voir résine
![AZNLOF2020](/3it/fileadmin/_processed_/d/4/csm_AZNLOF2020_b70ea2e4b2.png)
AZNLOF2020
Ton résine : Négative à profils inversés
Épaisseur : 2, 3 ou 6 um
Résolution :1 ou 2.5 um
![SU-8_2005](/3it/fileadmin/_processed_/9/2/csm_SU-8_2005_9dfb4c4d6a.png)
AZNLOF2020
Ton résine : Négative à profils verticaux
Épaisseur : 4 um
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
SU‐8 TF 6005
Ton résine : Négative pour photoplotter(405nm)
Épaisseur : 4 um
Résolution : 1 um
![KMPR_1005](/3it/fileadmin/_processed_/b/8/csm_KMPR_1005_e2589b3f9e.png)
KMPR 1005
Ton résine : Négative à profils verticaux
Épaisseur : 5 um
Résolution : 2 um
![NR4-8000](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_NR4-8000_92ef1b2e38.png)
NR4‐8000
Ton résine : Négative à profils inversés
Épaisseur : 8 um
Résolution : 4 um
![AZ125nXT](/3it/fileadmin/_processed_/7/d/csm_AZ125nXT_cbbcde7be2.png)
AZ125nXT
Ton résine : Négative à profils verticaux
Épaisseur : 14.5 ou 80 um
Résolution : 7 ou 40 um
![pas d'image dispo](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
MX5015
Ton résine : Négative‐Dryfilm laminé
Épaisseur : 15 um
Résolution : 8 um
![pas d'image dispo](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
MX5030
Ton résine : Négative‐Dryfilm laminé
Épaisseur : 30 um
Résolution : 15 um
![pas d'image](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
MX5050
Ton résine : Négative‐Dryfilm laminé
Épaisseur : 50 um
Résolution : 30 um
![pas d'image dispo](/3it/fileadmin/_processed_/e/7/csm_pas_dimage_dispo_d520763d8c.png)
MX5125
Ton résine : Négative‐Dryfilm laminé
Épaisseur : 125 um
Résolution : 100 um
LOR 1A
Ton résine : Polymère pour bi-couche lift-off
Épaisseur : 0.1-0.2 um
Résolution : voir résine
LOR 3A
Ton résine : Polymère pour bi-couche lift-off
Épaisseur : 0.25-0.55 um
Résolution : voir résine
LOR 3B
Ton résine : Polymère pour bi-couche lift-off
Épaisseur : 0,4 - 0,5 um
Résolution : voir résine
LOR 5A
Ton résine : Polymère pour bi-couche lift-off
Épaisseur : 0,4 - 0,95 um
Résolution : voir résine
LOR 15A
Ton résine : Polymère pour bi-couche lift-off
Épaisseur : 1 - 2,5 um
Résolution : voir résine
SU-8 2005
Ton résine : Négative à profils verticaux
Épaisseur : 4 um
Résolution : 2