Équipements de micro-nanofabrication
- Système de dép¸ots de couches diélectriques très minces (ALD)
- Appareil de pulvérisation cathodique Edwards
- Appareil de pulvérisation cathodique SPT320
- Bancs humides de placage
- Évaporateur à canon d'électrons Edwards
- Évaporateur Angstrom Nebula
- Évaporteur Angstrom Quantum
- Four à tube Sentrotech
- Fournaise à tubes Tylan
- Réacteurs PECVD
- Réacteur CVD matériaux groupe IV CVD Equipment
- Réacteur CBE pour matériaux III-N
- Réacteur CBE matériaux III-V
- Spray Coater - Système de vaporisation pour dépôts de couches minces