Équipements de micro-nanofabrication
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- Appareil de pulvérisation cathodique SPT320
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- Évaporateur à canon d'électrons Edwads
- Évaporateur Angstrom Nebula
- Évaporteur Angstrom Quantum
- Réacteur CBE pour matériaux III-N
- Réacteur CBE matériaux III-V
- Réacteurs d'épitaxie
- Spray Coater - Système de vaporisation pour dépôts de couches minces