Étaleuse Solitec

Description

tournette encastrée dans un poste de travail du secteur de photolithographie, elle est dédiée au dépôt par étalement de produits contaminants, mais peut aussi servir pour le dépôt de résines régulières.

L’appareil d’étalement Solitec, de construction ancienne mais très robuste, consiste en un contrôleur analogique et en une tournette avec moteur à entrainement par courroie. Sa vitesse de rotation peut atteindre 10 000 rpm. Par contre, malgré cette capacité à haute vitesse, on l’utilise normalement dans les limites comparables aux capacités des autres tournettes soit de 6000 rpm et moins.

Marque et modèle

Solitec

Spécifications techniques

0 - 10000 rpm

Exemple de procédés disponibles

Étalement sur échantillons et substrats de produits pouvant être contaminants ou difficiles à nettoyer tels que certains adhésifs substrat (Wafer Bond), des verres liquides (SOG), etc.