Aligneuse de masques à contact 6 po Optical Associates Inc.- 806 MBA

Description

Appareil d’exposition UV pour masques photolithographiques avec alignement au substrat par la face avant et possibilité d’alignement par la face arrière

3 modes d’utilisation disponibles : hard contact, N2 hard contact et Vacuum contact

Marque et modèle

OAI- Optical Associates Inc. - 806 MBA

Spécifications techniques

•  Résolution 0.8 µm
• Lampe UV 350W émettant aux longueurs d'onde situées entre 220 nm et 436 nm
• Diamètre maximum des substrats : 6 po
• Dimensions maximum des masques : carrés 7 po x 7 po
• Compatible avec l'utilisation de petits échantillons et masques 4 po x 4 po et 5 po x 5 po

Exemples de procédés disponibles

• Exposition de résines diverses (Shipley, AZ, SU8, Futurrex, dry film, etc.) selon des motifs prédéfinis en vue de la réalisation de :
• Microstructures semiconductrices (sur Si, composés III-V, etc.) et microstructures métalliques
• Masques d'implantation
• Masques de gravure
• Masques de soulèvements
• Masques de placage
• Composant permanent pour guide d’ondes ou pour canaux microfluidiques