Graveur plasma Oxford Cobra Métal

Description

Gravure de métaux

Marque et modèle

Oxford Instruments - Plasma Pro 100-D Cobra 300

Spécifications techniques

• Température du substrat : -150°C à 400°C
• Source ICP : jusqu'à 3kW à 2MHz
• Source du plateau : jusqu'à 300W à 13.56MHz
• Gaz installés : Ar, O2, H2, SF6, C4F8, BCl3, Cl2, HBr
• Taille des échantillons :jusqu'à 200mm
• Spectromètre optique (end point) : Verity instruments SD2048GM

Exemples de procédés disponibles

• Gravure de métaux