Plasma Etcher Oxford Cobra Metal

Description

Metal etching

Manufacturer

Oxford Instruments - Plasma Pro 100-D Cobra 300

Technical specifications

• Electrode temperature : -150°C to 400°C
• ICP Source : Up to 3kW at 2MHz
• Plate source : Up to 300W at 13.56MHz
• Gas installed on the system : Ar, O2, H2, SF6, C4F8, BCl3, Cl2, HBr
• Sample size : up to 200mm
• Optical spectrometer (end point) : Ocean optics

Examples of available processes 

• Metal etching