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Réacteur CBE pour matériaux III-N OSÉMI inc V1 

Description

Dédié à la croissance des matériaux III-N

Marque et modèle

OSEMI inc -V1    

Spécifications techniques

  • Réacteur d'épitaxie OSEMI inc. 
  • Equipé de Pyromètrie
  • Échantillon de 2", 1", 14mm carré
  • Précurseurs :
    • N, DMH – Dimethyl Hydrazine
    • N, NH3 – Ammoniac
    • Ga, TEGa – Triethyl Gallium
    • In, TMIn – Trimethyl Indium
    • Al, TMAl – Trimethyl Aluminium
    • Al, DMAlH – Dimethyl Aluminium Hydride
    • Mg, CPMM –  Bis(MethylCycloPentaDienyl) Magnesium
    • Mg, CP2Mg – Bis(CycloPentaDienyl) Magnesium
    • Si, SiBr4 – Tetrabromure de Silicium

Exemples de procédés disponibles