Appareil de pulvérisation cathodique Edwards
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Description
Déposition de couches minces
Marque et modèle
Edwards - Auto 500
Spécifications techniques
- Système à 3 magnétrons (matériaux disponibles : Al, Cu, Ti, TiN, W) permettant de réaliser des dépôts multicouches
- Porte-échantillon rotatif
Exemples de procédés disponibles
- Métallisations de contacts électriques
- Dépôt de couches de croissance TiW/Cu pour placage de cuivre