Appareil de pulvérisation cathodique Edwards

Description

Déposition de couches minces

Marque et modèle

Edwards - Auto 500

Spécifications techniques

• Système à 3 magnétrons (matériaux disponibles : Al, Cu, Ti, TiN ) permettant de réaliser des dépôts multicouches sans avoir à casser le vide
• Porte-échantillon rotatif

Exemples de procédés disponibles

• Métallisations de surface
• Dépôt de multicouches métalliques pour réalisation de contacts ohmiques sur semiconducteurs et hétérostructures