Four à recuit thermique rapide (RTA) JIPELEC - JetFirst

Description

Traitement thermique d'échantillons

Marque et modèle

JIPELEC - JetFirst

Spécifications techniques

•  Chauffage par lampes halogènes (12)
• Puissance maximum : 30 kW
• Température maximale : 900°C en mode thermocouple
• Température maximale : 1050°C en mode pyromètre
• Diamètre maximum des substrats : 4 po, compatible avec petits échantillons
• Piloté par PC, recettes de cycle thermique définies par l'usager et comprenant jusqu'à 30 étapes, acquisition de données durant les procédés
• 4 lignes de gaz pour recuit sous atmosphère contrôlée: (1) N₂, (2) azote hydrogéné forming gas (N₂:H₂ 90:10), (3) oxygène, (4) Argon

Exemples de procédés disponibles

• Interdiffusion de puits quantiques
• Diffusion de métallisations pour contacts électriques