Système de nettoyage par plasma d'oxygène Tegal Corporation - Plasmaline 415
Description
Nettoyage d'échantillons par plasma d'oxygène
Marque et modèle
Tegal Corporation - Plasmaline 415
Spécifications techniques
- Chambre de style barrel etcher
- Source RF 0 à 300W à 13,56 MHz
- Diamètre maximum des substrats 6 po
- Compatible avec l'utilisation de petits échantillons
Exemples de procédés disponibles
- Nettoyage avant gravure
- Nettoyage avant dépôt métallique
- Élimination de résidus organiques (résines, etc.)