Système de nettoyage de tranches GnP Technology Axus 412S

Description

Nettoyage de tranches (wafers) après polissage chimique/mécanique

Marque et modèle

GnP Technology Axus 412S

Spécifications techniques

• Nettoyage de tranches de 100mm à 300mm
• Nettoyage : eau DI, ultrasonique et solution NH4OH
• Système double brosses pour un nettoyage simultané sur le dessus et en dessous de la tranche
• Rotation de la tranche jusqu'à 2000rpm pendant le nettoyage ou le séchage
• Séchage à l'azote