Filmetrics F10-RT-EXR
Description
Le F10-RT est capable de déterminer les caractéristiques des couches minces en mesurant la quantité de lumière réfléchie par et / ou transmise par le film mince sur une gamme de longueurs d'onde (c'est-à-dire en mesurant les spectres de réflectance et de transmittance).
Marque et modèle
Filmetrics F10-RT-EXR
Spécifications techniques
- Source lumineuse halogène au tungstène sur la plage de 375nm-3000nm
- Mesure d’intensité de la lumière réfléchie par un spectromètre à 1024 différentes longueur d’onde
- Matrice de photodiode pour intégrer le courant sur les 1024 pixels
- Temps d’intégration ajustable pour optimiser la lecture des données de mesure
Exemples de procédés disponibles
- Mesure de la réflectance et la transmittance de films minces.
- Mesure de l'épaisseur du film et l'indice de réfraction. Les films mesurés doivent être optiquement lisses et plats pour être mesurés. Les films couramment mesurés incluent les films de procédés semi-conducteurs, tels que les oxydes, les nitrures, les résines et le polysilicium, les revêtements optiques tels que les revêtements de dureté et antireflet, les films d'affichage à écran plat tels que les polyimides. Les films qui ne peuvent pas être mesurés comprennent les films très rugueux et les films métalliques.