Ellipsomètre Horiba UVISEL Plus

Rôle de l'appareil

Mesure de l'épaisseur et de l'indice de réfraction de couches diélectriques, semiconductrices ou organiques et de structures multicouches

Marque et modèle

Horiba UVISEL Plus

Spécifications techniques

• Caractérisation dans la bande 190 -2100 nm -
• Mesure à angle variable entre 40° et 90° step 0.01°
• Plateau 200 mm automatique en XY pour des mesures de cartographie (mapping)
• Support pour les mesures en transmission à 90°
• 3 tailles de spot : 0.05,0.1 et 1 mm à 90°
• Système d’imagerie avec caméra

Exemples de procédés disponibles

• Mesure d’épaisseur de couches minces (diélectriques, semiconducteurs…)
• Mesure de propriétés optiques des couches minces (indice de réfraction, coefficient d’absorption, Gap optique…)
• Caractérisation de surfaces