Profilomètre KLA Tencor P-17
Description
Ce système permet la mesure de relief, de la rugosité, l'analyse de couches minces, la hauteur de marche 2D et 3D et de la contrainte pour des balayages allant jusqu'à 200 mm sans assemblage.
Ce profilomètre offre une répétabilité de hauteur de marche grâce à une conception supérieure du capteur et du plateau de balayage. Il offre également une planéité de numérisation sur toute la longueur de balayage pour d'excellentes mesures de numérisation courte, longue et de contrainte.
Il prend également en charge les mesures en 2D ou en 3D, avec une variété d'algorithmes de filtrage, de nivellement et d'analyse pour quantifier la topographie de la surface. Les mesures sont entièrement automatisées grâce à la reconnaissance des formes, au séquençage et à la détection des caractéristiques.
Marque et modèle
KLA – Tencor P-17
Spécifications techniques
- Hauteur de marche : Nanomètres à 327 µm
- Faible force avec contrôle de force constante : 0.50 à 50 mg
- Vitesse de balayage : 2 à 25000 µm/s
- Taux d’échantillonnage : 5 à 2000 Hz
- Balayage de tout le diamètre de l'échantillon sans assemblage
- Vidéo : caméra couleur haute résolution 5 MP
- Correction de l'arc : supprime l'erreur due au mouvement du stylet
- Logiciel : interface logicielle facile à utiliser
- Capacité de production : entièrement automatisée avec séquençage et reconnaissance des formes
Procédés disponibles
- Hauteur de marche : hauteur de marche 2D et 3D
- Texture : rugosité et ondulation en 2D et 3D
- Forme : arc et forme en 2D et 3D
- Contrainte : contrainte des couches minces en 2D et 3D
- Examen des défauts : topographie de la surface des défauts en 2D et 3D