Gravure verticale
SiN (PECVD)
Sélectivité avec photorésine : 4:1
Sélectivité avec électrorésine : 2:1
Verticalité (o): 87
SiO2 (PECVD)
Sélectivité avec photorésine : 2:1
Sélectivité avec électrorésine : 1,4:1
Verticalité (o): 88
Si
Sélectivité avec photorésine : 1 :1
Sélectivité avec électrorésine : 0.6 :1
Verticalité (o):