Gravure profonde
SiN (PECVD)
Sélectivité avec photorésine : 1:1
Sélectivité avec électrorésine : 0.9:1
Verticalité (o): 82
SiO2 (PECVD)
Sélectivité avec photorésine : 1:1
Sélectivité avec électrorésine : 0.8:1
Verticalité (o): 86
Si
Sélectivité avec photorésine : 1 :1
Sélectivité avec électrorésine : 0.8 :1
Verticalité (o):