Photolithography resins

AZMiR701

Ton résine : Positive

Thickness : 0.5 um

 Resolution : 0.5 um

 AZ1505

Ton résine : Positive

Thickness : 0.5 um

Resolution : 0.5 um

AZ1512

Ton résine : Positive

Thickness : 1.2 um

Resolution : 0.7 um

AZ1518

Ton résine : Positive

Thickness : 1.8 um

Resolution : 1.0 um

AZ9245

Ton résine : Positive with vertical profiles

Thickness : 3 ou 4.5 um

Resolution : 1 ou 1.5 um

AZ4903

Ton résine : Positive with vertical profiles

Thickness : 8 ou 13 um

Resolution : 3 ou 5 um
 

AZ40XT

Ton résine : Positive with vertical profiles

Thickness : 13 ou 20 um

Resolution : 5 ou 10 um

LOR30B

Ton résine : Polymer for bi‐layer lift‐off

Thickness : 2.4 - 6 um

Resolution : see resin

AZNLOF2020

Ton résine : Negative with inverted profiles

Thickness : 2, 3 ou 6 um

Resolution :1 ou 2.5 um

AZNLOF2020

Ton résine : Negative with vertical profiles

Thickness : 4 um

SU‐8 TF 6005

Ton résine : Negative for photoplotting (405nm)

Thickness : 4 um

Resolution : 1 um

KMPR 1005

Ton résine : Negative with vertical profiles

Thickness : 5 um

Resolution : 2 um

NR4‐8000

Ton résine : Negative with inverted profiles

Thickness : 8 um

Resolution : 4 um

AZ125nXT

Ton résine : Negative with vertical profiles

Thickness : 14.5 ou 80 um

Resolution : 7 ou 40 um

MX5015

Ton résine : Negative‐Dryfilm laminated

Thickness : 15 um

Resolution : 8 um

MX5030

Ton résine : Negative‐Dryfilm laminated

Thickness : 30 um

Resolution : 15 um

MX5050

Ton résine : Negative‐Dryfilm laminated

Thickness : 50 um

Resolution : 30 um

MX5125

Ton résine : Negative‐Dryfilm laminated

Thickness : 125 um

Resolution : 100 um