Nanotechnologies
Procédés et équipements de micro et nanofabrication
Découvrez dans la vidéo les différents équipements du laboratoire des nanotechnologies qui permettent de réaliser divers procédés chimiques, biologiques, thermiques, de gravure plasma, backend, de caractérisation, de lithographie, etc.
Savoir-faire issu de cette plateforme
Voici un aperçu du savoir-faire en micro et nanofabrication, développé grâce à une équipe stable et permanente de techniciens et de professionnels recrutés et formés au cours des 20 dernières années :
- Procédé nanodamascène
- Résistance au faisceau d'électrons QSR-5
- Cellules solaires à jonction multiple
- Procédé GaN haute puissance/fréquence
- Nouveaux micromoteurs thermiques
La plateforme est devenue une infrastructure clé pour les réseaux nationaux et internationaux de recherche et d'innovation.