Appareil de pulvérisation cathodique Edwards

Description

Déposition de couches minces

Marque et modèle

Edwards - Auto 500

Spécifications techniques

• Système à 3 magnétrons (matériaux disponibles : Al, Cu, Ti, TiN, W) permettant de réaliser des dépôts multicouches
• Porte-échantillon rotatif

Exemples de procédés disponibles

• Métallisations de contacts électriques
• Dépôt de couches de croissance TiW/Cu pour placage de cuivre