Microscope électronique à balayage haute résolution
Le microscope S-4700 de la compagnie Hitachi est un microscope électronique à balayage haute résolution avec un canon à effet de champ et à cathode froide.
Ce microscope permet d'obtenir des images de très hautes résolutions sur différents types d'échantillons (films minces, nanopoudres, nanotubes, matériaux semi-conducteurs, etc.). Il est configuré pour détecter les électrons secondaires et les électrons rétrodiffusés ainsi que les rayons X.
Caractéristiques
- Détecteurs pour les électrons secondaires (SE) et les électrons rétrodiffusés (BSE)
- Distance de travail de 2,5 à 12 mm
- Tension d'accélération allant de 1 kV à 30 kV
- Imagerie en électrons rétrodiffusés jusqu'à des tensions d'accélération de 3 kV (détecteur EXB)
- Grossissement allant jusqu'à 200 000 X avec une résolution allant jusqu'à 5 nm
- Possibilité d'orienter l'échantillon jusqu'à 45° à 12 mm de distance de travail
- Détecteur pour spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (EDS)