Microscope électronique à balayage de table
Le microscope Phenom XL de la compagnie ThermoFisher est un microscope électronique à balayage de table avec une source CeB6.
Ce microscope, complètement automatisé, permet d'obtenir rapidement des images de hautes résolutions sur différents types d'échantillons (films minces, nanopoudres, nanotubes, matériaux semi-conducteurs, etc.). Il est configuré pour détecter les électrons secondaires et les électrons rétrodiffusés ainsi que les rayons X.
Caractéristiques
- Détecteurs pour les électrons secondaires (SE) et les électrons rétrodiffusés (BSE)
- Tension d'accélération allant de 5 kV à 15 kV (3 modes)
- 3 modes de vide (60 Pa, 10 Pa et 1 Pa)
- Grossissement allant jusqu'à 100 000 X
- Image optique de 3 à 16 X
- Détecteur pour la spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (EDS)
- Porte-échantillon multiple (36 pins)
- Applications : Automated Image Mapping (acquisition automatique de mosaïques d’images haute résolution sur de grandes zones) et Particle Metric (analyse morphologique des particules)