Observation de réactions de diffusion et d’oxydation des couches ultra-minces par protocole combinatoire de caractérisation
- Date :
- Mercredi 15 juillet 2026
- Heure :
- À 13 h
- Type :
- Soutenance de thèse
- Lieu :
- Local P2-1002 de l’Institut interdisciplinaire d'innovation technologique (3IT) et par Teams
Description :
Étudiant : Anthony Sleiman
Directeur de recherche: Luc Fréchette
Codirecteur de recherche: Nadi Braidy
Président du jury : Cédérick Landry
Résumé: Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont déjà présents dans notre société. Parmi les étapes cruciales de leur fabrication, la métallisation consiste à déposer des couches minces de matériaux fonctionnels. Les MEMS de dernière génération emploient des couches dont l'épaisseur peut descendre jusqu’à quelques nanomètres, ainsi que des structures complexes telles que des empilements de couches ultra-fines. Ces structures font intervenir des réactions interfaciales dont l'information est difficile à extraire avec les méthodes de caractérisation actuelles. D'autres empilements font intervenir des espèces chimiques dont les signaux se confondent. Cette thèse vise à lever trois verrous technologiques : la caractérisation des réactions interfaciales à l'échelle nanométrique, l'application de cette méthode à l'étude de la diffusion dans un système Ti-Al nanolaminé, et l'identification des phases d'oxydes de vanadium (VOx) formées lors de l'oxydation en phase solide d'une bicouche V/V2O5, grâce à une approche combinatoire associant XRR et EELS.
Directeur de recherche: Luc Fréchette
Codirecteur de recherche: Nadi Braidy
Président du jury : Cédérick Landry
Résumé: Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont déjà présents dans notre société. Parmi les étapes cruciales de leur fabrication, la métallisation consiste à déposer des couches minces de matériaux fonctionnels. Les MEMS de dernière génération emploient des couches dont l'épaisseur peut descendre jusqu’à quelques nanomètres, ainsi que des structures complexes telles que des empilements de couches ultra-fines. Ces structures font intervenir des réactions interfaciales dont l'information est difficile à extraire avec les méthodes de caractérisation actuelles. D'autres empilements font intervenir des espèces chimiques dont les signaux se confondent. Cette thèse vise à lever trois verrous technologiques : la caractérisation des réactions interfaciales à l'échelle nanométrique, l'application de cette méthode à l'étude de la diffusion dans un système Ti-Al nanolaminé, et l'identification des phases d'oxydes de vanadium (VOx) formées lors de l'oxydation en phase solide d'une bicouche V/V2O5, grâce à une approche combinatoire associant XRR et EELS.