Micro-ingénierie, microfabrication et MEMS
Thèmes de recherche
L’équipe de recherche en micro-ingénierie, microfabrication et MEMS concentre sa recherche sur les volets spécifiques suivants:
- Capteurs et actionneurs aérothermiques
- Croissance épitaxiale contrôlée latéralement
- Épitaxie par faisceaux chimiques
- Fabrication de micro-actionneurs piézoélectriques
- Microcapteurs pour l'aérospatiale et le biomédical
- Microdispositifs à haute densité de puissance
- Microgénérateurs piézoélectriques
- Micropiles à combustible
- Microturbines
