Micro-ingénierie, microfabrication et MEMS

La décennie à venir sera sans doute marquée par les micro et nanotechnologies. Déjà aujourd’hui, les microsystèmes électromécaniques, ou MEMS, sont omniprésents autour de nous; les capteurs d’accélération et de pression dans chaque automobile, les têtes d’imprimantes à jet d’encre, les micromiroirs pour projecteurs numériques ne sont que quelques exemples de microsystèmes complexes intégrant des fonctions électroniques, mécaniques, optiques et/ou fluidiques sur une puce. Parmi nos activités de recherche, nous développons des microsystèmes servant à diverses applications, allant du domaine biomédical à l’aérospatial. Par exemple:

Afin de concevoir des systèmes miniatures, nous devons maîtriser les sciences et les principes d’ingénierie aux échelles microscopiques. La miniaturisation nous pousse à revoir les relations constitutives qui représentent la mécanique des fluides, le transfert de chaleur, la résistance des matériaux et les réactions chimiques aux échelles traditionnelles. De plus, certaines simplifications communément faites afin de concevoir ou analyser la performance des systèmes macroscopiques ne sont plus valables puisque les phénomènes physiques dominants sont une fonction de l’échelle. Nous poursuivons donc des investigations analytiques, numériques, et expérimentales pour élucider ces différences et créer une base de savoir pour la conception de microsystèmes. Par exemple:

Principalement basée sur les procédés utilisés en micro-électronique, la microfabrication englobe les technologies de croissance, déposition, gravure, et assemblage qui permettent de créer des structures et composantes actives de l’ordre du micromètre au millimètre. Le développement de nouvelles techniques avancées permet de pousser les frontières de la microfabrication au-delà de la micro-électronique pour miniaturiser et intégrer des composantes opto-électro-mécaniques sans précédent. Nous développons et appliquons des procédés et outils novateurs pour la fabrication de microsystèmes et pour avancer l’état de l’art. Par exemple: