Projet de recherche pour les MEMS de prochaine génération avec partenaire industriel

Description du projet

Environnement de recherche :
Dans le cadre d’une Chaire de Recherche Industrielle, plusieurs sujets de thèse de Doctorat sont disponibles dans les domaines du développement de procédés de fabrication, d’encapsulation et de la caractérisation de nouveaux matériaux pour la prochaine génération de Microsystèmes électromécaniques (MEMS). Pour cela, un environnement de recherche exceptionnel est à disposition. D’une part, l’Institut Interdisciplinaire d’Innovation Technologique (3IT), situé sur le campus de l’Université de Sherbrooke (Québec) abrite 1600m2 d’espace de laboratoires et 430 m2 de salle blanches de classe 100. D’autre part, le Centre de Collaboration MiQro Innovation (C2MI) situé à Bromont, dont les membres fondateurs sont l’Université de Sherbrooke, IBM Canada et Teledyne DALSA. Il s’agit du plus grand centre de recherche en microélectronique au Canada, et bénéficie d’équipements à la pointe de la technologie répartis sur 15000 m2 de laboratoires dédiés aux MEMS, à la fabrication, au packaging et à l’analyse des défaillances sur gaufres 200mm. 
Enfin, Teledyne DALSA, qui est une fonderie de semiconducteurs spécialisée dans les MEMS, le CMOS et les technologies CCD disposant à Bromont de 3800 m2 de salles blanches fonctionnant 24h/24. Dans ce contexte, les activités de la Chaire de Recherche Industrielle fournissent un environnement de formation unique, compte tenu des installations de micro/nano fabrication industrielles du C2MI, de son contexte collaboratif, ainsi que des sujets et environnement multidisciplinaires au 3IT.

Contexte des sujets de recherche :
Les avancées apportées par l'industrie de la microélectronique se retrouvent aujourd'hui dans de nombreux appareils miniatures utilisés au quotidien. Parmi les plus importants de ces microsystèmes sont la photonique intégrée et les systèmes micro-électromécaniques (MEMS) qui sont au cœur des réseaux modernes de télécommunication et permettent l'émergence de l'internet des objets (IoT). Cette Chaire de recherche industrielle du CRSNG vise à développer et à améliorer les matériaux, procédés de fabrication et applications pour les microsystèmes de prochaine génération. De nouveaux matériaux fonctionnels permettront d'élargir la gamme des principes de transduction, notamment grâce à des films minces piézoélectriques en nitrure d'aluminium (AlN) et à des films minces thermorésistifs d'oxyde de vanadium (VOx) particulièrement utilisés dans les microbolomètres. Des processus de fabrication pour l'intégration et l'encapsulation sous vide au niveau de la tranche seront améliorés grâce au développement de techniques de collage direct et de capture des gaz résiduels.

Profil des candidats recherchés : Les candidats recherchés devront être titulaires d’un diplôme de Master avec une spécialité Physique des Matériaux ou Nano (Nano-technologie, nano-optique, nano-fabrication, nano-matériaux …) ou d’un diplôme d’ingénieur reconnu, idéalement en Nano. Les candidats devront être autonomes, flexibles, proactifs et capables de travailler en équipe dans un contexte de recherche industrielle.

Financement offert

Oui

Partenaire(s)

Teledyne DALSA Semiconductor Inc.

La dernière mise à jour a été faite le 13 mars 2024. L’Université se réserve le droit de modifier ses projets sans préavis.