Aller au contenu

Capteur d'hydrogène MOS et méthode d'intégration à une technologie de transistor FDSOI

Date :
Lundi 4 juillet 2022
Heure :
À 14 h 30
Type :
Soutenance de thèse
Lieu :
Les Balcons du lac d'Annecy en France et via Teams

Description :
Doctorant: Adham Elshaer

Directeur de recherche: Dominique Drouin

Codirecteur de recherche: Stéphane Monfray

Président de jury: Maxime Darnon

Résumé: L’hydrogène vert, produit en utilisant des sources d’énergies renouvelables, est parmi les nombreuses stratégies pour diminuer le bilan carbonique mondial et accélérer la transition vers des sources à zéro émission. Cependant, l’hydrogène possède une limite inférieure d’explosion de 4 %. Des capteurs fiables et rapides sont des outils nécessaires pour l’usage sécuritaire de l’hydrogène. Le travail de cette thèse comprend la conception et la fabrication d’une technologie de capteur d’hydrogène basée sur une structure MOS. La structure est composée d’un empilement de Pt/Ti/Al2O3/p-Si (100/5/38 nm). Le capteur est capable de détecter de très faibles concentrations < 20 ppm. De plus, pour une concentration de 500 ppm, le temps de réponse est 56 s. Une méthode d’intégration hétérogène du MOS à un transistor FDSOI a été conçue. Permettant le prototypage flexible avec des technologies de transistor FDSOI qui peuvent amplifier le signal (14 x).