Le 22 septembre 2017
Description du cours GEI721

Description de l'activité pédagogique

GEI 721

Formation à la fabrication en salles blanches

3 cr.

Cible(s) de formation

Acquérir les compétences requises pour le travail en environnement de salles blanches de classe 100.

Contenu

Manipulation et préparation d'échantillons. Opération d'équipements en salles blanches. Aspects spécifiques requis en termes de propreté en environnement de salles blanches de classe 100. Exigences complémentaires aux notions de sécurité de base en laboratoire dans un tel environnement. Conception de photomasques, nettoyage de composants, gravures humides, étalement et dépôt de couches minces par centrifugation et évaporation sous vide, pulvérisation cathodique, photolithographie, caractérisation par microscopie optique, profilométrie, ellipsométrie, mesures électriques.