RF-MEMS

Titre du projet :

Commutateur RF-MEMS fiables pour la fabrication à grande échelle

Description du projet et contexte :

Les systèmes radio-fréquences (RF) et micro-ondes demandent de plus en plus de flexibilité afin de proposer une agilité de fonctionnement sur un large spectre de fréquences ainsi que des options de re-programmabilité. La technologie des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS) a le potentiel de remplacer de nombreux commutateurs RF utilisés dans les systèmes de communications mobiles ou satellites actuels. Les RF-MEMS permettant la commutation par contact électrique ouvert ou fermé réduiraient non seulement sensiblement la taille et la consommation d'énergie, mais promettraient également des performances supérieures par rapport aux technologies de commutation actuelles. Avec l'utilisation de fréquences toujours plus élevées, deux défis restent très difficiles à atteindre pour réaliser des RF-MEMS: i) une excellente fiabilité du système, et ii) un bon fonctionnement jusqu'à 20 GHz avec un minimum de dégradation de signal. L'Université de Sherbrooke, l'Université de Waterloo et Teledyne DALSA Semiconductor proposent dans un projet de recherche conjoint, de relever ces défis en développant des RF-MEMS avec des procédés de fabrication industrielles à grande échelle. Ces dispositifs seront fabriqués et encapsulés dans l'infrastructure de salle blanche MEMS 200 mm du centre de collaboration MiQro Innovation (C2MI) qui offre des outils et procédés similaires à une ligne de production industrielle 200 mm à l'état de l'art.

Ce projet réunit une équipe de chercheurs, ingénieurs et collaborateurs industriels multidisciplinaire dont les compétences et expertises vont du génie électrique, au génie mécanique en passant par la science des matériaux, les applications RF, le micro-usinage et les technologies d'assemblage. 

Dates :

Avril 2016 - Décembre 2019

Porteurs du projet :

  • Porteur principal : Pr François Boone - UMI-LN2, CRN2, 3IT - Université de Sherbrooke
  • Porteurs associés :

    • Pr Luc Fréchette - UMI-LN2, CRN2, 3IT - Université de Sherbrooke
    • Pr Serge Charlebois - UMI-LN2, CRN2, 3IT - Université de Sherbrooke
    • Pr Raafat Mansour - Waterloo University

  • Gestionnaire de projet :

    • Serge Ecoffey - Professionnel de recherche - 3IT - Université de Sherbrooke

Autres partenaires :

  • Teledyne Dalsa

Étudiants impliqués :

  • M. Boucherit - UdeS
  • N. Miriyala - UdeS
  • M. Fergusson - UdeS
  • M. Najah - UdeS
  • T. Singh - U. Waterloo
  • J. Marzouk - U. Waterloo
  • A. Abdelaziz - U. Waterloo