Glass-HARM - Moulage de verre pour microstructures à haut rapport de forme

Nous proposons un procédé de microfabrication qui permet la fabrication de microstructures à haut rapport de forme, telles que des microcanaux, des vias ou des colonnes.

Le procédé consiste à mouler du verre dans un moule en silicium sacrificiel formé par gravure ionique réactive profonde (DRIE). 

Le silicium est ensuite éliminé par gravure sélective pour libérer une plaquette avec des microstructures de verre qui reproduisent les tranchées et les cavités dans le moule en silicium.

Le meulage et le polissage peuvent être utilisés pour assurer un dos plat de la tranche de verre à motifs.

Intéressé par de telles microstructures de verre? Contactez-nous.

Nous offrons des services de microfabrication pour la fabrication de prototypes sur mesure selon vos besoins, ou nous pouvons vous aider à transférer le processus dans vos installations.