Le Raith 150Two fait son entrée au 3IT

Expérimenter la lithographie par faisceau d’électrons

Le Raith150 Two a fait son entrée au 3IT à l'hiver 2020.
Le Raith150 Two a fait son entrée au 3IT à l'hiver 2020.
Photo : 3IT

L’avez-vous constaté? Cet hiver, le 3IT a accueilli le Raith150 Two, un équipement des plus sophistiqués en nanotechnologies.

Destinée à la lithographie par faisceau d’électrons, la machine exécute un procédé apparenté à la photographie argentique (à pellicules). Selon cette méthode, la lumière affecte une pellicule photosensible et en modifie la résistance afin que l’image y soit gravée.

Ce principe s’applique au nouvel appareil, à l’exception qu’il n’emploie ni pellicule photographique ni photons (lumière). Il utilise plutôt une résine électrosensible et un faisceau d’électrons. Dans ce cas, c’est la résine qui est développée.

De plus, le Raith150 Two opère à une échelle hautement précise. En effet, la taille moyenne d’un pixel de pellicule photographique à grains fins est d’environ 20um. Le nouvel appareil de lithographie permet de tracer des motifs en deçà de 10nm – des dimensions 2000 fois plus petites que la pellicule photo!

D’ailleurs, ces motifs sont à l’origine de tous vos appareils électroniques. Ils constituent les processeurs et les mémoires d’ordinateurs, de tablettes et de téléphones, entre autres.

Faire avancer les technologies de pointe

Les standards du Raith150 Two s’arriment à ceux de l’industrie. Équipés de ce système, des chercheurs coopéreront avec des entreprises d’ici et d’ailleurs à faire avancer les technologies de pointe dont les technologies quantiques.

Sous peu, le Raith150 Two servira également à effectuer des mesures de dimensions critiques d’écriture par faisceau d’électrons effectuées à l’aide du EBPG5200. L’installation de cette machine est prévue à l’automne 2020.

L'appareil de pointe bénéficiera tant aux chercheurs qu'aux partenaires du 3IT.
L'appareil de pointe bénéficiera tant aux chercheurs qu'aux partenaires du 3IT.
Photo : 3IT

Le 3IT compte de précieux partenaires dont IBM, TDSI, Aeponyx et GaNSystems. Qui dit œuvrer avec des acteurs industriels de haut niveau, dit être en mesure de valider l’étape critique qu’est la lithographie par faisceau d’électrons.

En tant qu'appareil d’inspection automatisé, le Raith 150Two suggère la création de procédés non seulement fiables, mais aussi répétables. De plus, les solutions développées bénéficieront à des domaines multiples allant de la robotique jusqu’à la santé!

Plus de vingt ans d’expertise à l’interne

Dominique Drouin, professeur à la Faculté de génie et membre du 3IT, a été l’un des premiers au Québec à expérimenter la lithographie par faisceau d’électrons dans les années 90. Aujourd’hui, l’équipement a une précision de déplacement ainsi qu’une stabilité dans le temps accrues.

La valeur ajoutée de l’appareil, c’est le savoir-faire des experts du 3IT en nano-fabrication, et plus spécifiquement en lithographie par faisceau d’électrons. Ces derniers perfectionnent la technique depuis des années :

« Ce sont des gens passionnés. Nous formons une équipe forte, qui collabore avec des partenaires afin de faire progresser la science. Au 3IT, l’appareil sera un atout pour les chercheurs et pour l’industrie.  Il s’agit d’accéder tant à une machine efficiente qu’à la connaissance avancée. » , explique Félix Lalumière, professionnel de recherche au 3IT.

Servir la Chaîne d’innovation intégrée

L’achat du Raith150 Two s'inscrit dans le cadre de la Chaine d’innovation intégrée. Celle-ci offre aux partenaires l'accès à l'Institut quantique (IQ),  l'Institut interdisciplinaire d'innovation technologique (3IT) et le Centre de collaboration MiQro Innovation (C2MI), où ils travaillent étroitement avec des équipes multidisciplinaires.

Plusieurs experts du 3IT en nanotechnologies sauront accompagner les utilisateurs du Raith150 Two.
Plusieurs experts du 3IT en nanotechnologies sauront accompagner les utilisateurs du Raith150 Two.
Photo : 3IT

Une aide financière substantielle

L’acquisition du Raith150 Two n’aurait pu avoir lieu sans l’appui financier du gouvernement du Québec, versé à l'Université de Sherbrooke en 2018. Chiffrée à 20,5 millions de dollars, la subvention visait à bonifier les infrastructures de l’IQ, du 3IT et du C2MI par l’ajout d’équipements clés.

Utiliser le Raith150 Two

Impatient d’utiliser le Raith150 Two? Afin d’opérer l’appareil de manière autonome, une formation vous sera préalablement prodiguée. Tout client interne ou externe, académique ou industriel, a le loisir de communiquer avec les responsables du 3IT.nano pour effectuer son projet.