Caractérisation des microsystèmes

Caractérisation électrique

  • Mesure électrique C/V
  • Mesure électrique I/V
  • Mesure 4 pointes
  • Mesure par effet Hall

Caractérisation optique

  • Photoluminescence résolue en temps

Caractérisation cryogénique

  •  Système cryogénique à champ magnétique intense multi-fonctionnel (PPMS, Physical Properties Measurement System)
  • Cryostat écranté pour champ nul avec He4 ou He3 pour la caractérisation de jonctions Josephson et SQUID
  • Cryostat à température variable (VTI)

Profilométrie

  • Profilométrie par contact
  • Profilométrie optique

Spectrométrie

  • Éllipsométrie
  • Spectroscopie des rayons-X (EDX)
  • Cathodoluminesence (CL)

Microscope optique

  • Grossissement maximal de 1000 X
  • Équipé d'une caméra numérique connectée à un PC
  • Éclairage diascopique et épiscopique
  • Observation en champ clair ou champ foncé
  • Filtres polarisants (polariseur, analyseur)
  • Filtre Nomarski

Microscope à balayage électronique

  • Possibilité d'observation sous vide ou en pression variable (jusqu'à 40 Pa)
  • Tension d'accélération : de 100 V à 30 kV, ajustable par pas de 10V
  • Taille de sonde de 1 nm à 20 kV, 3 nm à 1 kV
  • Courant de faisceau : 4 pA à 20 nA
  • Grossissement : de 20 X à 900 kX