Fournaise à tubes Tylan

Description

Oxydation, recuit et dépôt LPCVD

Marque et modèle

Tylan - Tytitan

Spécifications techniques
  • 4 tubes
  • Gaufre 3-4 po (possibilité de 6 po)
Exemples de procédés disponibles
  • tube#1 : oxydation sec/humide
  • tube#2 : recuit
  • tube#3 : LPCVD (polysilicium)
  • tube#4 : LPCVD (nitrure)

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