Four à recuit thermique rapide (RTA)

Description

Traitement thermique d'échantillons

Marque et modèle

JIPELEC - JetFirst

Spécifications techniques
  •  Chauffage par lampes halogènes (12)
  • Puissance maximum : 30 kW
  • Température maximale : 900°C en mode thermocouple
  • Température maximale : 1050°C en mode pyromètre
  • Diamètre maximum des substrats : 4 po, compatible avec petits échantillons
  • Piloté par PC, recettes de cycle thermique définies par l'usager et comprenant jusqu'à 30 étapes, acquisition de données durant les procédés
  • 4 lignes de gaz pour recuit sous atmosphère contrôlée: (1) N₂, (2) azote hydrogéné "forming gas" (N₂:H₂ 90:10), (3) oxygène, (4) Argon
Exemples de procédés disponibles
  • Interdiffusion de puits quantiques
  • Diffusion de métallisations pour contacts électriques

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