Aligneuse de masques haute précision

Description

L’aligneuse de masques MJB4 est un instrument de précision pour une photolithographie haute précision. Elle a été conçue pour exposer les wafers/substrats standard ainsi que les substrats de forme irrégulière avec un diamètre max. de 100 mm ou 4"x 4" et diverses épaisseurs.

Marque et modèle

Süss MicroTec MJB4

Spécifications techniques

Aligneuse de masques de précision avec possibilité d’exposition UV et DUV, par la face avant, pour petits échantillons et substrats jusqu’à 4 pouces de diamètre.

Exemples de procédés disponibles

Fabrication de divers dispositifs par photolithographie nécessitant un alignement très précis d’un niveau photolithographie à l’autre (ex : <1um de précision).

Connectez-vous pour voir accès à la documentation technique et aux personnes ressources!

Documentation et personnes ressources