Spray Coater - Système de vaporisation pour dépôt de couches minces

Description

Déposition de nano/microparticules en suspension ou de polymères (résines, adhésifs, etc.) par brumisation.

Marque et modèle

Ultrasonic Systems - Prism BT Benchtop

Spécifications techniques
  • Brumisation par sonde à ultrasons à 35 kHz
  • Taille de point : 3 mm à 25 mm
  • Déplacement 3 axes de la tête de dépôt
  • Surface maximale de dépôt : 150 mm x 150 mm
  • Chambre de dépôt isolée et ventilée
  • Possibilité de chauffer le substrat, température maximale : 250°C
  • Possibilité de déposer des matériaux conformables
  • Piloté par PC, recettes définies par l’usager et permettant plusieurs centaines d’étapes.
Exemples de procédés disponibles
  • Déposition de films de nanoparticules (nanotubes de carbone, C60, nanofils de silicium, etc.) à partir de suspensions
  • Déposition de photorésine ou d’électrorésine

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