Evaporateur à canon d'électrons Edwards

Description

Déposition de couches minces

Marque et modèle

Edwards - Auto 306

Spécifications techniques
  • Carrousel à 4 creusets (matériaux disponibles : Al, AlSi, Au, Cr, Ge, Ni, Permalloy, Si, Ti) permettant de réaliser des dépôts multicouches sans avoir à casser le vide
  • Porte-échantillon rotatif
  • Moniteur d'épaisseur avec résolution de 0.1 nm
  • Uniformité du dépôt : meilleure que 5% sur 3 pouces pour Al
  • Possibilité de nettoyage du substrat in-situ au plasma à l'argon
Exemples de procédés disponibles
  • Métallisations de surface
  • Dépôt de multicouches métalliques pour réalisation de contacts ohmiques sur semiconducteurs et hétérostructures

Connectez-vous pour avoir accès à la documentation technique et aux personnes ressources!