Station de mesures électriques en salle blanche

Description

Station qui comprend une station sous pointes manuelle avec 4 manipulateurs, deux analyseurs paramétriques I-V, un analyseur d’impédance gain-phase et un appareil de mesure à sonde à 4 pointes pour mesures de résistivité

Station sous pointes manuelle en salles blanches

Rôle de l’appareil

Permettre d’effectuer les mesures électriques sous pointes

Marque

Wentworth

Modèle

MP400

Spécifications techniques

  • Pour substrats jusqu’à 4 po. de diamètre
  • 4 manipulateurs à base magnétique
  • Contrôles du positionnement des aiguilles (probes) selon 3 axes
  • Microscope optique avec 3 objectifs (2X, 4X et 8X) et oculaires 10X
  • Zoom 1X à 2X
  • Image live captée par caméra analogique avec affichage sur écran

Exemples de procédés disponibles

Interconnexions des manipulateurs avec les sources et appareils de mesure pour effectuer des mesures électriques I-V, C-V, I-t, V-t, à 4 pointes (résistance) etc.

Analyseur d’impédance/gain-phase

Rôle de l’appareil

Mesures d’impédance et particulièrement de Capacitance vs tension (C-V) et de Conductance vs fréquence (G-w)

Marque

Schlumberger

Modèle

SI 1260

Spécifications techniques

  • Fréquence : 10uHz à 32MHz
  • Amplitude AC : 0 à 3V (< 10MHz), 0 à 1V (>=10MHz)
  • Polarisation DC : +/- 40.95Vdc   +/-100mA
  • Balayages : Fréquence, amplitude, polarisation
  • Utilisation autonome possible
  • Contrôle à distance avec acquisition et traitement des données fait par ordinateur
  • Branchement aux manipulateurs de la station sous pointes
  • Branchement possible sur sonde au mercure ou autre station de test

Exemples de procédés disponibles

  • Caractérisation de dispositifs par évaluation de la concentration de porteurs dans le substrat semi-conducteur à l’aide de mesures C-V sur capacités MOS, MIS, MIM, jonctions Schottky ou diodes polarisées en inverse, etc.
  • Mesures G-w 

Analyseur paramétrique Keithley pour caractérisation en salles blanches

Rôle de l’appareil

Mesuresélectriques (I-V), (I-t), (V-t)

Marque

Keithley

Modèle

S4200

Spécifications techniques

  • 4 SMUs (unités de sources et de mesures) sans préamplificateurs
  • Courant de source maximal de 100mA par SMU
  • Tension maximale de source de 20V sans interlock, possibilité de 200V avec interlock.
  • Résolution de mesure de 1pA en courant et de 1uV sur les échelles les plus fines.
  • Logiciel de contrôle de l’instrument et d’acquisition et de traitement des données à même l’appareil.
  • Librairies de tests disponibles pour divers types de dispositifs

Exemples de procédés disponibles

  • Caractérisation de transistors MOS (courbes Id-Vds, Id-Vgs, etc.) et autres dispositifs
  • Mesures de résistance de nanofils
  • Vérification des contacts ohmiques après recuit
  • Mesures de tension de seuil de diode
  • Évaluation du courant de fuite de grilles de condensateur

Analyseur paramétrique HP

Rôle de l’appareil

Mesures électriques, dédié actuellement pour mesures de résistivité avec appareil à sonde à 4 pointes

Marque

Hewlett Packard

Modèle

HP4145A

Spécifications techniques

  • 4 SMUs, plus 2 sources de tension et 2 voltmètres
  • Courant de source de 100mA maximum par SMU
  • Tension maximum de 42V maximum sans interlock et de 100V avec interlock et avec mise à la terre du commun
  • Résolution maximale de 1pA et de 1mV

Exemples de procédés disponibles

  • Mesures I-V, I-t, V-t, ainsi que mesure de résistance à 4 pointes lorsque relié à un appareil « 4 points probe »

Sonde à 4 pointes

Rôle de l’appareil

Mesure de résistivité par contact en surface

Marque

Signatone

Modèle

n.d. (4 points probe)

Spécifications techniques

  • Substrats jusqu’à 3 po de diamètre
  • Tête de sonde avec 4 pointes en carbure de tungstène, disposés en ligne et à 50mils de distance, avec force de ressort de 85g

Exemples de procédés disponibles

  • Mesure de résistance de substrats ou d’échantillons semi-conducteurs
  • Mesure de résistance de couches semi-conductrices ou métalliques