Profilomètre Dektak

Rôle de l'appareil

Mesure de profil par contact à l’aide d’un stylus balayé sur la surface de l’échantillon

Marque

Veeco (Brüker) 

Modèle

Dektak 150

Spécifications techniques

  •  Taille de substrat : jusqu’à 200 mm
  • Longueur de scan max: 55 mm, 150 mm avec recoupements (stitching)
  • Résolution : 0.1 nm (range de 6,5 um)
  • Échelles (range) : 1 mm, 524 um, 65 um et 6.5 um
  • Force sur le stylet : ajustable de 30 ug à 30 mg
  • Rayon de la pointe du stylet : 2.5 um ou 12.5 um

Exemples de procédés disponibles

Mesures de profils et métrologie, maps 3D, rugosité, rayon de courbure et estimation du stress de couches minces