Ellipsomètre

Rôle de l'appareil

Mesure de l'épaisseur et de l'indice de réfraction de couches diélectriques, semiconductrices ou organiques, et de structures multicouches

Marque et modèle

Woolam Alpha-SE

Spécifications techniques
  • Diamètre maximum des substrats : 8 po
  • Compatible avec l'utilisation de petits échantillons
  • Gamme spectrale de 370 à 900 nm (180 longueurs d'onde)
  • Logiciel d'analyse permettant la prise en compte de la dispersion optique selon plusieurs modèles (Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc Lorentz gaussien, etc.), la gradation d'indice, et la rugosité de surface ou d'interface
Exemples de procédés disponibles
  • Mesure d’épaisseur de couches minces (diélectriques, semiconducteurs…)
  • Mesure de propriétés optiques des couches minces (indice de réfraction, coefficient d’absorption, Gap optique…)
  • Caractérisation de surfaces

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