Équipements
Tous les équipements par ordre alphabétique
- AFM
- ALD
- Aligneuse de masques haute précision Suss MJB4
- Aligneuse de masques OAI 200
- Aligneuse de masques OAI 806MBA
- AOE - Système de gravure par plasma
- Appareil de gravure plasma - RIE
- Appareil de mesure de conductivité sans contact
- Appareil de mesure de réflectance et de transmittance
- Appareil de pulvérisation cathodique Emitech
- Appareil de pulvérisation cathodique SPT320
- Appareil d'exposition DUV-Flooder
- ASE - Système de gravure plasma pour Silicium
- Autoclaveuse
- Bancs humides
- Boite à gants sous atmosphère inerte
- Centrifugeuses
- Chambre environnementale
- Ellipsomètre
- ESB - Enceinte de sécurité biologique
- Étaleuses
- Étuve
- Évaporateur à canon d'électrons Edwards
- Evaporateur TLI
- Four à recuit thermique rapide - RTA
- Four à tube Carbolite
- Four à tube Sentrotech
- Four KILN
- Four Vulcan
- Fournaise à tubes Tylan
- FTIR
- HIPLM
- ICP III-V - Système de gravure plasma
- Implanteur ionique Varian
- Laser IR Q-Mark 1064 nm
- Laser IR 980 nm
- Laser UV 193 nm
- Laser UV 248 nm
- MDP - Caractérisation électrique des matériaux sans contact
- Microscope à épifluorescence
- Microscope holographique
- Microscope laser confocal 3D
- Microscope optique DMLM
- Microscope optique Zeiss Infinity
- Microscope optique de type métallurgique (Nikon)
- Microscope Zeiss LEO 1540 XB
- Microscope Zeiss Orion NanoFab
- Montage de mesure d'angle de contact
- Montage de spectroscopie iHR320
- Montage d'effet Hall
- Montage laser femto Mai Tai et OPO
- PECVD (STS et Benchmark)
- Photoluminescence de surface - PL Mapper
- Photoplotter
- Plasmaline - Plasma de nettoyage à l'oxygène
- Polissage mécano-chimique CMP
- Presse à injection de plastique
- Prime Oven
- Profilomètre optique Fogale
- Profilomètre Dektak 150
- Projecteur de profil
- QS-PB Reader
- Réacteur CBE pour matériaux III-V
- Réacteur CBE pour matériaux III-N
- Résonnance de plasmons de surface - SPR
- Scie à découper Disco
- Semitool / Essoreuse - sécheuse
- Spectroscope Raman
- Spray Coater - Système de vaporisation pour dépôts de couches minces
- Station 1 soleil / Elecctrolum
- Station de caractérisation de LED
- Station de mesures électriques en salles blanches
- Station de mesures HP-HV
- Station de microcalorimétrie
- Station d'injection dans des guides d'ondes
- Station EQE
- Station Flash Tester
- Station phototransducteur
- Station sous pointes chauffante
- Station sous pointes DC
- Station sous pointes HF
- Système d'électrolithographie Raith 150-Two
- Système de nettoyage de surfaces à l'ozone - UV-Novascan
- Système de polissage
- Système d'impédance électro-chimique (EIS)
- Ultra-congélateur
- Wafer Bonder AML