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Plasmaline - Plasma de nettoyage à l'oxygène

Description

Nettoyage d'échantillons par plasma d'oxygène

Marque et modèle

Tegal Corporation - Plasmaline 415 

Spécifications techniques

  •  Chambre de style barrel etcher
  • Source RF 0 à 300W à 13,56 MHz
  • Diamètre maximum des substrats 6 po
  • Compatible avec l'utilisation de petits échantillons

Exemples de procédés disponibles

  • Nettoyage avant gravure
  • Nettoyage avant dépôt métallique
  • Élimination de résidus organiques (résines, etc.)