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Graveur plasma Oxford Cobra Métal

Description

Gravure de métaux

Marque et modèle

Oxford Instruments - Plasma Pro 100-D Cobra 300

Spécifications techniques

  • Température de l'électrode : -150°C à 400°C
  • Source ICP : jusqu'à 3kW à 2MHz
  • Source du plateau : jusqu'à 300W à 13.56MHz
  • Gaz installés : Ar, O2, H2, SF6, C4F8, BCl3, Cl2, HBr
  • Taille des échantillons :jusqu'à 200mm
  • Spectromètre optique (end point) : ocean optics

Exemples de procédés disponibles

  • Gravure de métaux