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Appareil de pulvérisation cathodique Edwards

Description

Déposition de couches minces

Marque et modèle

Edwards - Auto 500

Spécifications techniques

  • Système à 3 magnétrons (matériaux disponibles : Al, Cu, Ti, TiN ) permettant de réaliser des dépôts multicouches sans avoir à casser le vide
  • Porte-échantillon rotatif

Exemples de procédés disponibles

  • Métallisations de surface
  • Dépôt de multicouches métalliques pour réalisation de contacts ohmiques sur semiconducteurs et hétérostructures