Description

Nettoyage et séchage d'échantillons.

Marque

Semitool

Spécifications techniques

Un module de l’appareil est dédié pour le rinçage à l’eau DI et séchage à l’azote de cassettes de substrats 4 po et un autre pour les cassettes de substrats de 3 po de diamètre

Exemples de procédés disponibles

Rinçage final de tranches suite à un nettoyage ou une gravure.

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